经沈老师修改后的毕业论文提纲
目 录
第1章 绪 论 4
1.1 研究背景 4
1.1.1 MEMS及微细加工技术 4
1.1.2 课题组已有的研究基础
MEMS光刻仿真 5
MEMS CAD 7
1.2 和本课题有关的国内外研究现状分析 9
1.2.1 光刻仿真软件研究现状 9
1.2.2 三维重建与可视化技术 12
1.3 论文的研究内容 14
1.4 论文结构 14
第2章 体数据的三维重建 15
2.1 三维重建的基本流程 15
2.2 三维数据的来源和处理 15
2.3 常用的三维重建方法及比较 17
2.3.1 常用的三维重建方法 17
2.3.2 基于面绘制的重建方法 18
2.3.3 基于体绘制的重建方法 19
2.3.4 算法性能的评价 21
2.3.5 算法的选择 22
2.4 Marching Cubes（MC）算法 22
2.4.2 MC 算法的基本原理及算法步骤 23
2.4.1 体素模型与等值面定义 22
2.4.3 MC 算法生成等值面的近似表达与连接的二义性 27
2.4.4 M C二义性问题的消除方法 28
2.5 从等值面到三维形体 30
2.5.1 等值面和三维形体的区别 30
2.5.2 补全空洞生成三维形体的方法 32
第3章 MEMS光刻仿真软件的布尔运算理论及其实现 34
3.1基于体素的布尔运算 34
3.1.1 布尔运算
主体与客体 34
布尔运算的步骤 34
3.1.2 三维重建中的布尔运算 35
3.1.3 基于体素的布尔运算 36
3.2 基于MEMS光刻仿真数据的布尔运算原理和步骤 38
3.3.1 原理
3.3.2 三维数据矩阵的形成 38
3.3.3 布尔运算过程 38
第4章 文件输出 39
4.1 STL文件输出 39
4.1.1 STL文件规范 39
4.1.2 STL文件输出实例 40
4.2 VRML文件输出 41
4.2.1 VRML文件规范 41
4.2.2 VRML文件输出实例 42
第5章 MEMS光刻仿真软件系统 44
5.1 系统框架 44
5.2 开发环境 44
5.2.1 Java 44
5.2.2 Java3D 47
5.3 系统主要数据结构 48
5.4 系统主要模块 48
5.4.1 三维重建模块 48
5.4.2 布尔运算模块 48
5.4.3 文件输出模块 48
5.5 和其它相关软件的兼容 49
5.5.1 软件兼容能力 49
5.5.2 数据接口 49
第6章 论文总结 50
6.1 总结 50
6.2 展望 50
攻读硕士期间发表的论文
致谢